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Clean Room
반도체 산업 뿐만 아니라 정밀기기, 전자산업, 의학품제조, 식품제조산업, 광학기기, 병원, 실험실 자기테이프나 사진용필름, 특수인쇄 등에 이르기까지
폭넓게 이용되며, 요구되는 청정도 또한 각각의 공정에 따라 상이하게 구분 됩니다.
그리고 Clean Room은 외부로부터 진애 입자등을 유입시키지 않기 위하여 시설 전체를 오염구역, 준청정구역, 청정구역으로 구성할 필요가 있습니다.
그리하여 구역간에는 Air Shower나 Pass Box를 통한 출입을 하여 공간과 공간사이에 공기의 유통을 막으며 각 공간에는 공기의 역류등을 방지하기 위하여 Damper를 사용하여 청정도 유지를 기하여야 합니다.